天域半导体碳化硅基地废气治理
碳化硅外延片在生产过程中外延检修、清洗、供应间废气，废气成分主要为非甲烷总烃、多种酸雾、氨气等，采用预处理+两级活性炭深度吸附和酸碱塔吸收治理工艺。
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方案概述
泛半导体行业涵盖原材料、设备、芯片、显示、光伏、照明等全产业链，废气主要产生于电子化学品生产、CVD、刻蚀、清洗、显影等工序，污染物包含酮醇烃类 VOCs、酸碱废气、氟化物、氯化氢、氨、硅烷、磷化氢、砷化氢、PFCs 特气及各类惰性气体，具有高毒有害、成分复杂、浓度波动大等特点，是行业环境安全管控的核心。泛半导体废气治理存在多重难点：废气含自燃、剧毒、强腐蚀特种气体与酸碱、VOCs 混合污染物，处理难度极高；系统对密封性、防爆性、运行可靠性要求严苛；需焚烧、洗涤、吸附、回收多工艺精密协同，设计容错率极低，需专业精密化治理方案实现高危废气无害化转化。
干式吸附设备（Dry Scrubber）
泛半导体生产中，离子注入、刻蚀、MOCVD、CVD等核心工序，会产生Cl₂、HCl、HF、PH₃、SiF₄、NH₃、AsH₃等剧毒、强腐蚀、浓度波动大的特种工艺废气。我司采用自研干式吸附设备（Dry Scrubber），搭配定制化高效吸附剂，净化效率可达 99.9%；有害气体被吸附固化为稳定固态物质，尾气汇入多级酸碱洗涤 + 吸附中央处理系统深度净化。该干式吸附治理方案安全可靠：全干式无废水、无明火，规避燃爆风险；搭载多重安全联锁与自动化监测；吸附剂按需定制，净化性能优异；具备节能低碳、防腐耐用、数字孪生智控等优势，吸附剂寿命长，有效降低泛半导体废气治理综合运维成本。
水洗设备（Wet Scrubber）
半导体与光伏电池生产中，扩散、LPCVD、PECVD、MOCVD、刻蚀、外延等工序，会产生Cl₂、HCl、HF、NH₃等强腐蚀性酸碱废气，需高效净化处理。针对该类废气，我司自研水洗设备（Wet Scrubber），采用六级及以上多级水洗室，让废气与洗涤液充分接触，净化效率达 99% 以上；可单独处理酸碱废气，或作为后端单元去除燃烧后SiO₂、HF等二次污染物，尾气汇入多级酸碱塔 + 吸附中央系统深度治理。水洗设备配置喷淋水洗 + 除雾结构，搭载 PLC 智能控制系统，支持自动 / 手动运行；具备防腐耐用、电耗低、废水少、低碳节能优势，融合数字孪生智控技术，实现设备全生命周期精细化管理，适配泛半导体废气治理严苛工况。
电热水洗设备（Heat Wet Scrubber）
半导体与光伏生产的扩散、PECVD、MOCVD、刻蚀、外延等工序，会产生H₂、SiH₄、HCl、TEOS、CO、CH₄等易燃易爆特气废气，需安全稳定治理。针对此类废气，我司自研电热水洗设备（Heat Wet Scrubber），专为难溶、易结晶半导体特种气体设计；通过高温裂解燃烧 + 高效水洗深度处理，可分解 1000℃以内可裂解特气，净化效率达 99.9%，尾气接入多级酸碱塔 + 吸附中央系统达标排放。设备搭载多重安全联锁与自动化监测，可定制适配不同特气；内置旋流缓冲结构防粉尘堆积，采用强化防腐材质；结合数字孪生智控技术，实现全生命周期管控，满足泛半导体废气治理高安全、高可靠要求。
电热水冷设备（HC Scrubber）
芯片、光伏、LED行业GaN、MOCVD等制程，会产生高浓度氢气、氨气废气，存在易燃易爆、臭气超标等安全隐患。针对该类工况，我司自研电热水冷设备（HC Scrubber），专为氢气、氨气治理定制；通过电加热裂解 + 高温燃烧 + 多级冷凝处理废气，净化效率可达 99.9%，尾气汇入多级酸碱塔 + 吸附中央系统深度达标。设备搭载自动化监测与多重安全联锁，全程可控；采用循环冷却水、无废水排放，防腐耐用；融合数字孪生智控技术，实现设备全生命周期精细化管理，适配泛半导体废气治理高安全标准。
等离子水洗设备（Plasma Wet Scrubber）
半导体与显示面板制造的扩散、刻蚀、化学气相沉积等工序，会产生CF₄、NF₃等全氟化合物（PFCs）。该类气体化学键稳定、极难降解，是泛半导体行业重点治理难题。针对PFCs 废气治理痛点，我司自研等离子水洗设备（Plasma Wet Scrubber），采用等离子裂解 + 湿式吸收两段式工艺。通过低温等离子体高能电子轰击断裂 C-F 强化学键，配合自由基氧化彻底降解稳定废气，高温反应分解污染物后，再经湿式洗涤塔深度净化，净化效率可达 99.9% 以上，可替代适配常规电热水洗工况，处理后尾气接入多级酸碱塔 + 吸附中央处理系统达标排放。设备搭载全自动监测系统，联动多重安全联锁，全程可控运行；采用强化防腐材质、适配复杂腐蚀工况；融合数字孪生智控技术，实现设备全生命周期智能管控，高效解决泛半导体 PFCs 废气治理难题。
硅烷燃烧水洗塔
太阳能电池、集成电路等高端制造中，PECVD工序会产生硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）废气。其中硅烷遇空气易自燃、爆炸，氨气具备强刺激性与毒性，存在极大安全隐患与环保风险，需定制化高效治理。针对硅烷、氨气废气治理需求，我司自研硅烷燃烧水洗塔，采用高效燃烧 + 多级吸收核心工艺，集成燃烧、吸收、清灰系统，废气净化效率高达99.99%。
1、高效燃烧分解含硅烷、氢气、磷烷的废气进入燃烧室，利用硅烷自燃特性充分氧化分解，生成稳定二氧化硅粉尘，同步彻底净化各类可燃危险废气组分。
2、多级洗涤吸收燃烧后的高温尾气含粉尘、残留氨气等污染物，进入多级水洗塔，通过气液逆流充分接触，完成冷却、除尘、中和、吸收四重深度净化，尾气接入中央处理系统达标排放。
硅烷燃烧水洗塔搭载全自动温控、压控系统，配置氮气保护、泄爆装置，安全系数极高；无需外加燃料、能耗极低，绿色低碳；设备结构紧凑、处理风场稳定；结合数字孪生智控技术，实现设备全生命周期智能运维，完美适配光伏、半导体高危工艺废气治理工况。
