金沙js6038

太阳能电池、集成电路高端制造中，PECVD工序产生硅烷 (SiH₄)、氨气 (NH₃)废气，硅烷易自燃爆炸，氨气有毒有刺激性，存在安全与污染隐患。金沙js6038自研硅烷燃烧水洗塔（Si/O/W），由燃烧、吸收、清灰系统组成，采用高效燃烧 + 多级吸收工艺，净化效率高达 99.99%，先通过燃烧将硅烷氧化为二氧化硅粉末，同步处理氢气、磷烷；再经多级水洗完成冷却、除尘、中和、吸收，实现深度达标净化。

1. 安全性高：采用自动化控制，进行温度、压力监控，采用氮气保护和泄爆装置，确保设备安全稳定运行；
2. 超高净化效率：根据废气特性定制设备功能，采用高效燃烧+多级吸收的协同设计，净化效率可高达99.99%；
3. 结构设计精巧：流程化布局燃烧室、均压室、氮气保护室及多级洗涤室，结构紧凑，气流通畅，实现处理效率最大化；
4. 节能低碳运行：利用硅烷自燃热值，不需要外加燃料，且电耗极低，符合绿色低碳的运营目标；
5. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能。

适用于太阳能电池、集成电路等高端制造中，PECVD（等离子增强化学气相沉积）等关键工序会产生硅烷（SiH₄）和氨气（NH₃） 等废气治理。