金沙js6038

芯片、光伏、LED行业GaN、MOCVD制程，会产生高浓度氢气、氨气废气，易引发安全隐患，同时造成车间臭气超标，是泛半导体行业重点治理难题。针对氢氨废气治理需求，金沙js6038自研电热水冷设备（HC Scrubber），专属适配氢气、氨气废气处理。设备采用电加热高温裂解+高温燃烧+多级冷凝核心工艺，先裂解氨气、再充分燃烧废气，最后经多级冷凝深度净化，废气净化效率高达99.9%，尾气稳定达标，彻底解决泛半导体生产线氢氨废气超标及安全隐患问题。

1. 安全稳定：采用自动化控制，进行温度、压力、流量等监测，联动扩撒、调温、降温、报警、停机等多重安全联锁，确保全程受控；
2. 高效净化：针对氢气和氨气定制化设计，净化效率可高达99.9%；
3. 无废水产生：设备无水洗单元，仅使用循环冷却水，不产生废水；
4. 耐腐蚀：采用强化防腐设计，具有优良的耐腐蚀性能；
5. 智控孪生赋能：融合数字孪生与集中智制优势，通过感知矩阵、多维交互、场景化智控等技术，实现设备全生命周期深度赋能。

适用于在芯片、光伏、LED等生产过程中，GaN、MOCVD（金属有机化学气相沉积）等工序产生的高浓度氢气和氨气废气治理。